凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅芯片)接觸到的空氣的清潔度和溫度和濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。這個空間叫凈化車間。按照慣例，無塵凈化水平主要根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來確定。也就是說，所謂的無塵并不是沒有灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然，與我們常見的灰塵相比，這個標準中符合灰塵標準的顆粒略大，但即使對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，也會有負面。

凈化車間每立方米小于0.3微米粒徑的灰塵數(shù)量控制在3500以下，達到無塵標準*。目前，芯片級生產(chǎn)加工中使用的凈化車間的無塵標準對灰塵的要求高于*，這種高標準主要用于一些芯片生產(chǎn)。5μ每立方米1000個以下的微塵數(shù)量被嚴格控制，這就是業(yè)界所說的1K級。

為保持車間內(nèi)的清潔度，需要控制人員數(shù)量。在考慮靜電的前提下，還有嚴格的人員服裝管理方法。

凈化工程潔凈服上身與下身應(yīng)分開，穿著時要求，上衣必須放在下身。

穿著布料要求防靜電，潔凈室內(nèi)相對濕度較低。防靜電服裝可將微粒附著率降至90%。

根據(jù)企業(yè)自身的需要，潔凈等級較高的潔凈室將使用披肩帽，其下擺應(yīng)放在上衣內(nèi)。

有的手套會有滑石粉，進入室內(nèi)之前一定要把滑石粉去掉。

新買的潔凈服必須先清洗后再穿，有條件的*用無塵水清洗。

為確保凈化工程的凈化效果，1-2周內(nèi)必須清洗一次清潔服，整個過程應(yīng)在清潔區(qū)域進行，避免附著顆粒。